Bagian Titanium Untuk Semikonduktor

1. Kontrol pelepasan pengotor yang sangat-rendah

Kami mengadopsi skema pemrosesan perkakas keramik + perkakas-bebas besi di seluruh proses produksi. Semua bahan pembantu yang bersentuhan dengan benda kerja menjalani tiga putaran pemurnian pencucian asam, yang secara ketat mengontrol kandungan total besi, kromium, dll. agar berada dalam 0,02%. Hal ini sepenuhnya menghindari masalah kontaminasi ion logam yang umum dalam proses semikonduktor dan mencegah pembentukan residu logam berlebihan pada permukaan wafer. Ini mengurangi risiko korsleting dari sisi material.

 

2. Ketahanan korosi-jangka panjang

Setelah bagian terbentuk, ia akan mengalami dua konsentrasi perendaman larutan pengoksidasi lemah yang berbeda untuk pasivasi. Lapisan pelindung titanium dioksida setebal 8-10 nm yang seragam akan dihasilkan di permukaan. Bahkan ketika terkena larutan campuran asam fluorida dan asam nitrat encer dalam proses pembersihan semikonduktor selama 2000 jam terus menerus, tidak akan terjadi pelepasan lubang dan tidak ada serpihan yang menggores permukaan wafer.

 

3. Stabilitas dimensi-presisi tinggi

Selama pemrosesan, seluruh proses menggunakan semprotan nitrogen cair untuk kontrol suhu konstan, mengendalikan deformasi yang dihasilkan selama pemrosesan dalam 0,003 mm. Sebelum meninggalkan pabrik, produk jadi menjalani pengujian siklus suhu tinggi dan rendah selama 24 jam. Bahkan ketika beroperasi dalam lingkungan proses semikonduktor pada suhu 180 derajat untuk waktu yang lama, tidak akan ada gangguan deformasi dan tidak ada deformasi yang menempel. Tidak perlu sering-sering membongkar dan menyesuaikan akurasi penyelarasan.

 

4. Tingkat pembuangan rendah cocok untuk lingkungan vakum

Semua bagian pertama-tama dipanggang vakum 120 derajat selama 48 jam untuk perawatan degassing. Uap air dan partikel kecil yang teradsorpsi di permukaan dihilangkan seluruhnya. Setelah dipasang di ruang vakum semikonduktor, ini dapat membantu peralatan mencapai tingkat vakum target 25% lebih cepat dibandingkan menggunakan komponen baja tahan karat biasa, sehingga mengurangi hilangnya waktu menunggu pemompaan vakum.

1. Baki wafer untuk mesin deposisi uap PVD

Digunakan untuk menopang wafer silikon yang akan dilapisi. Dalam lingkungan-suhu tinggi dari bahan target sputtering, bagian titanium tidak akan bereaksi dengan gas sputtering dan tidak akan melepaskan kotoran berlebih ke dalam ruangan, yang dapat meningkatkan keseragaman lapisan film logam yang diendapkan pada permukaan wafer sebesar 5%, menghindari masalah kebocoran chip yang disebabkan oleh ketebalan lapisan logam yang tidak mencukupi. Sangat cocok untuk melapisi kebutuhan produksi proses 28nm ke bawah.

 

2. Rak pembawa wafer untuk mesin pembersih basah

Dalam proses pembersihan standar RCA, rak direndam sepenuhnya dalam larutan pembersih asam kuat dan alkali kuat. Bahan titanium tidak akan terkorosi dan menghasilkan serpihan, serta tidak akan menempel pada permukaan wafer sehingga menyebabkan kontaminasi partikel. Hal ini dapat mengurangi tingkat kerusakan partikel pada pembersihan wafer batch tunggal sebesar 12%. Pada saat yang sama, karakteristik rak yang ringan juga dapat mengurangi beban transmisi mesin pembersih dan menurunkan konsumsi energi peralatan.

 

3. Kursi pemasangan elektroda untuk mesin implantasi ion

Digunakan untuk memasang elektroda-tegangan tinggi di mesin. Sifat non-magnetik titanium tidak akan mengganggu lintasan berkas ion, sehingga penyimpangan kedalaman implantasi ion dapat dikontrol dalam kisaran yang sangat kecil, menghindari masalah dosis injeksi yang tidak merata di area lokal wafer. Ini secara signifikan meningkatkan konsistensi kinerja listrik chip.

 

4. Flensa konektor untuk pipa vakum semikonduktor

Menghubungkan berbagai bagian pipa vakum mesin. Tingkat pembuangan titanium yang rendah dapat mempertahankan-lingkungan vakum bersih yang tinggi di dalam pipa dan tidak akan menyebabkan fluktuasi tingkat vakum karena pelepasan gas dari flensa baja tahan karat biasa setelah-penggunaan jangka panjang. Hal ini mengurangi jumlah alarm penghentian mesin yang dipicu oleh kelainan vakum dan meningkatkan waktu pengoperasian berkelanjutan jalur produksi sebesar 30%.

1. Penyesuaian dimensi non-standar

Mengandalkan pusat permesinan 5 sumbu kami sendiri, panjang, lebar, dan tinggi suku cadang dapat disesuaikan sesuai dengan ruang pemasangan peralatan semikonduktor pelanggan yang ada. Pelanggan tidak perlu memodifikasi antarmuka peralatan, dan sampel pertama dapat dikirimkan dalam waktu 7 hari.

 

2. Kustomisasi kondisi permukaan

Dua metode perawatan permukaan dapat dipilih sesuai permintaan: pemolesan cermin dan sandblasting matte. Mereka cocok untuk persyaratan kebersihan yang berbeda dalam proses manufaktur dan dapat menghindari adhesi partikel yang mempengaruhi lingkungan produksi semikonduktor.

 

3. Kustomisasi antarmuka khusus

Struktur khusus seperti slot kartu khusus dan lubang penempatan dapat disesuaikan agar sepenuhnya sesuai dengan persyaratan perakitan peralatan yang-dikembangkan sendiri oleh pelanggan. Tidak ada komponen adaptor tambahan yang perlu ditambahkan.

Barang	Spesifikasi
Nama Produk	Bagian Titanium untuk Semikonduktor
Bahan	Titanium Murni (Kelas 2), Paduan Titanium (Kelas 5 Ti-6Al-4V)
Proses Manufaktur	Pemesinan CNC, Pembubutan, Penggilingan, Penggilingan, Pengelasan
Bentuk yang Tersedia	Pelat, Cincin, Tabung, Batang, Balok, Suku Cadang Khusus
Ukuran	Disesuaikan sesuai dengan gambar atau sampel
Toleransi	Hingga ±0,01 mm
Permukaan Selesai	Dipoles, Sandblasted, Acar, Anodized, Mesin Presisi
Kekasaran Permukaan	Ra 0,2–1,6 μm (Tersedia Khusus)
Kemurnian	Hingga 99,6% (Titanium Kelas 2)
Suhu Operasional	Hingga 400 derajat
Kepadatan	4,51 gram/cm³
Kekerasan	Kelas 2: HB 145–200; Kelas 5: HRC 30–36
Ketahanan Korosi	Ketahanan yang sangat baik terhadap asam, alkali, dan bahan kimia proses
Kompatibilitas Kimia	Cocok untuk bahan kimia semikonduktor dan-lingkungan dengan kemurnian sangat tinggi
Inspeksi	Inspeksi Dimensi, Sertifikasi Material, Inspeksi Permukaan

 

 

 

Tag populer: suku cadang titanium untuk semikonduktor, suku cadang titanium Cina untuk produsen, pemasok, pabrik semikonduktor