Komponen Semikonduktor Titanium
Baki pembawa paduan titanium kelas semikonduktor yang diluncurkan oleh China Super Tech Co., Ltd. adalah komponen inti berbentuk hampir{3}jaring-yang dirancang khusus untuk peralatan litografi kelas atas. Bobotnya kurang lebih 80 kilogram. Ini terbuat dari substrat paduan titanium melalui proses pencetakan satu bagian dan dapat membawa modul wafer secara stabil dalam lingkungan produksi semikonduktor dengan kebersihan tinggi dan getaran tinggi. Hal ini secara signifikan mengurangi limbah material dan penyimpangan presisi yang disebabkan oleh metode pemrosesan tradisional.
- perkenalan produk
Fitur produk
1. Kerugian materi yang rendah
Dengan menggunakan proses deposisi plasma busur dan menggunakan kawat titanium sebagai bahan mentah untuk fusi dan pencetakan lapisan demi-lapisan, tingkat pemanfaatan bahan 70% lebih tinggi dibandingkan penggilingan tradisional, sehingga mengurangi konsumsi bahan titanium berharga yang tidak perlu.
2. Kekakuan struktural yang tinggi
Setelah terbentuk, struktur internalnya padat dan seragam, tanpa cacat porositas yang umum pada pengecoran tradisional. Kecil kemungkinannya untuk berubah bentuk pada-kondisi pergerakan peralatan berkecepatan tinggi, dan fluktuasi presisi kurang dari 0,02 mm selama-penggunaan jangka panjang.
3. Tegangan sisa yang rendah
Setelah pembentukan, proses penuaan eksklusif yang dikontrol suhu-disediakan untuk komponen. Tegangan sisa di dalam komponen jauh lebih rendah dibandingkan tingkat standar industri. Tidak ada deformasi tak terduga yang akan terjadi selama pemrosesan presisi berikutnya.
4. Kebersihan dan kompatibilitas yang tinggi
Permukaan paduan titanium dapat diperlakukan dengan pasivasi, yang tidak rentan terhadap pengendapan partikel logam dan sepenuhnya memenuhi persyaratan produksi kebersihan tinggi di bengkel semikonduktor.
Aplikasi Produk
1. Pembawa wafer untuk peralatan litografi
Sebagai baki pembawa wafer dalam sistem litografi, baki ini menahan modul wafer dengan aman selama-pergerakan berkecepatan tinggi dan proses penyelarasan yang tepat, mencegah wafer bergeser selama proses pemaparan dan memastikan keakuratan pengetsaan garis setiap wafer.
2. Pembawa lapisan vakum
Ditempatkan di dalam mesin pelapis vakum semikonduktor, mesin ini menempatkan chip yang akan dilapisi secara batch. Bahan titanium memiliki tingkat emisi gas yang sangat rendah di lingkungan vakum, yang tidak mengganggu kondisi vakum tinggi di dalam ruang pelapisan, sehingga memastikan keseragaman dan kepadatan lapisan pelapis.
3. Basis perlengkapan pengujian chip
Sebagai komponen dasar peralatan penyortiran dan pengujian chip, stabilitas tinggi yang dihasilkan oleh bobotnya sendiri dapat menangkal getaran kecil yang disebabkan oleh{0}}penyortiran peralatan berkecepatan tinggi, sehingga penyelarasan probe dan pin chip lebih akurat dan mengurangi tingkat kesalahan pengujian.
Layanan yang disesuaikan
China Super Tech Co., Ltd. dapat menyediakan layanan-proses lengkap yang disesuaikan mulai dari pencocokan permintaan hingga pengiriman produk. Mengandalkan teknologi pengendapan paduan titanium yang matang, teknologi ini dapat dengan cepat menghasilkan billet dengan bentuk yang hampir-bersih-tanpa memerlukan produksi cetakan berulang-ulang. Selanjutnya, hanya diperlukan sedikit pemrosesan presisi untuk mencapai akurasi dimensi yang diperlukan sesuai spesifikasi pelanggan.
Kami dapat menyesuaikan bentuk dan struktur penguat internal komponen sesuai dengan ruang pemasangan aktual dan persyaratan-penahan beban peralatan pelanggan, dan juga dapat memberikan solusi perawatan permukaan yang sesuai untuk berbagai tingkat kebersihan sesuai kebutuhan pelanggan. Kami akan menindaklanjuti kemajuan pemrosesan selama proses untuk memastikan bahwa komponen yang disesuaikan dapat langsung masuk ke dalam sistem rantai pasokan peralatan semikonduktor pelanggan yang ada tanpa memerlukan modifikasi tambahan pada antarmuka peralatan.
Spesifikasi
|
Parameter |
Spesifikasi |
|
Nama Produk |
Komponen Semikonduktor Titanium |
|
Bahan |
Titanium Murni (Kelas 1, Kelas 2), Paduan Titanium (Kelas 5 / Ti-6Al-4V) |
|
Standar |
ASTM B348, ASTM B381, ASTM F67, ASTM F136 (Tersedia Khusus) |
|
Proses Manufaktur |
Pemesinan CNC, Pembubutan Presisi, Penggilingan, Penggilingan |
|
Bentuk yang Tersedia |
Cincin, Ruang, Target, Flensa, Pelat, Perlengkapan, Suku Cadang Khusus |
|
Diameter |
5mm – 1000mm |
|
Panjang |
Hingga 3000mm |
|
Ketebalan |
0,5mm – 200mm |
|
Toleransi |
±0,005 mm hingga ±0,02 mm (Tergantung Desain) |
|
Permukaan Selesai |
Mesin, Dipoles, Cermin Selesai, Sandblasted, Acar |
|
Kekasaran Permukaan |
Ra 0,2–1,6 m |
|
Kemurnian |
Hingga 99,9% (Titanium Murni Komersial) |
|
Kepadatan |
4,51 gram/cm³ |
|
Suhu Operasional |
Hingga 600 derajat |
|
Ketahanan Korosi |
Ketahanan Luar Biasa terhadap Asam, Alkali, dan Bahan Kimia Ultra-Murni |
|
Sertifikasi |
ISO 9001, Sertifikat Uji Material (EN 10204 3.1 Tersedia) |
|
OEM/ODM |
Tersedia |
Pertanyaan Umum
Mengapa titanium banyak digunakan dalam peralatan semikonduktor dibandingkan baja tahan karat atau aluminium?
+
-
Titanium menawarkan kombinasi luar biasa antara ketahanan terhadap korosi, pelepasan gas yang rendah, rasio kekuatan-terhadap-berat yang tinggi, dan kompatibilitas dengan lingkungan vakum ultra-tinggi (UHV). Sifat-sifat ini menjadikannya ideal untuk peralatan manufaktur semikonduktor yang terpapar bahan kimia agresif, pemrosesan plasma, dan kondisi produksi dengan kemurnian{4}yang tinggi. Dibandingkan dengan baja tahan karat atau aluminium, titanium cenderung tidak mencemari wafer dengan ion atau partikel logam, sehingga membantu meningkatkan hasil produksi dan stabilitas proses. Biasanya digunakan untuk ruang vakum, perlengkapan proses, komponen distribusi gas, bagian penanganan wafer, dan peralatan plasma.
Bagaimana Anda meminimalkan kontaminasi partikel selama produksi?
+
-
Kontaminasi partikel adalah salah satu kekhawatiran terbesar bagi produsen semikonduktor karena partikel mikroskopis pun dapat mengurangi hasil wafer. Untuk meminimalkan kontaminasi, komponen semikonduktor titanium harus menjalani pemesinan CNC presisi yang diikuti dengan penyelesaian permukaan yang sesuai seperti pemolesan, pasivasi, atau pemolesan listrik bila diperlukan. Komponen biasanya dibersihkan menggunakan proses pembersihan tingkat semikonduktor-dan dikemas dalam lingkungan yang bersih untuk mencegah kontaminasi selama pengangkutan. Pelanggan juga dapat meminta kekasaran permukaan (Ra) tertentu, tingkat kebersihan, dan kemasan khusus sesuai dengan kebutuhan peralatan mereka.
Bisakah Anda memproduksi komponen semikonduktor titanium khusus sesuai gambar?
+
-
Ya. Sebagian besar komponen titanium semikonduktor dibuat-khusus karena setiap produsen peralatan memiliki spesifikasi desain yang berbeda. Pelanggan biasanya menyediakan: Gambar 2D atau file CAD 3D (STEP, IGES, PDF) Persyaratan tingkat material Spesifikasi permukaan akhir Toleransi kritis Persyaratan kebersihan Persyaratan inspeksi Berdasarkan spesifikasi ini, pemesinan CNC presisi, inspeksi dimensi, ketertelusuran material, dan pengemasan khusus semuanya dapat disediakan sebelum pengiriman.
Dokumen kualitas apa yang dapat diberikan dengan komponen semikonduktor titanium?
+
-
Produsen peralatan semikonduktor sering kali memerlukan dokumentasi kualitas yang lengkap untuk memastikan konsistensi dan ketertelusuran produk. Dokumen umum meliputi: Sertifikat Uji Material (EN 10204 3.1) Laporan Komposisi Kimia Laporan Sifat Mekanik Laporan Inspeksi Dimensi Laporan Inspeksi CMM Laporan Kekasaran Permukaan Inspeksi Artikel Pertama (FAI) Sertifikat Kesesuaian (COC) Laporan inspeksi tambahan juga dapat diberikan sesuai dengan spesifikasi pelanggan.
Bagaimana komponen titanium dapat mempertahankan masa pakai yang lama di lingkungan pemrosesan semikonduktor yang keras?
+
-
Pemrosesan semikonduktor sering kali melibatkan vakum tinggi, paparan plasma, gas proses korosif, dan bahan kimia ultra{0}}murni. Pemilihan material yang buruk atau perawatan permukaan yang tidak memadai dapat mengakibatkan korosi, kontaminasi, pelepasan gas yang berlebihan, atau memperpendek umur peralatan. Komponen titanium berkualitas tinggi-diproduksi menggunakan kualitas titanium yang sesuai, pemesinan presisi, penyelesaian permukaan terkontrol, dan pemeriksaan kualitas yang ketat. Pemilihan material yang tepat dan proses manufaktur yang bersih membantu meningkatkan ketahanan terhadap korosi, mengurangi pelepasan gas, meminimalkan pembentukan partikel, dan memperpanjang masa pakai komponen dalam kondisi pengoperasian semikonduktor yang berat.
Tag populer: komponen semikonduktor titanium, produsen, pemasok, pabrik komponen semikonduktor titanium Cina
